使用资料公司请求用于供给较短且对称的接地途径的接地途径体系专利削减寄生等离子体的发生

  金融界 2024 年 12 月 7 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，使用资料公司请求一项名为“用于供给较短且对称的接地途径的接地途径体系”的专利，公开号 CN 119082711 A，请求日期为 2019 年 5 月。

  专利摘要显现，此处所述的施行例关于供给较短且对称的途径的接地途径体系，用于将射频(RF) 能量传达至接地以削减寄生等离子体的发生。接地途径体系将腔室的处理容积分叉以构成内部容积，内部容积阻隔处理容积的外部容积。