机房防雷接地工程设计方案
③存储芯片DRAM、3DNAND、新型存储器结构对ALD技术的需求越来越大
随着DRAM存储器容量不断增大，其内部的电容器数量随之剧增，而单个电容器的尺寸将进一步减小，电容器内部沟槽的深宽比也慢慢变得大。深沟槽将需要更高的薄膜表面积，例如在45nm制程中，沟槽结构深宽比达到100：1，所沉积薄膜的有效面积大约是器件本身表面积的23倍。这些给沉积技术提出了更高的要求。同样地，得益于薄膜以单原子层为量级生长所带来的大面积均匀性、高台阶覆盖率和对膜厚的精确控制，ALD技术能够很好地满足这些要求。
3D NAND结构，内部层数不断增高，元器件逐步呈现高密度、高深宽比结构，PVD和CVD难以达到沉积效果，ALD则能轻松实现高深宽比特征下的均匀镀膜。以最具挑战性的向字线D NAND交替堆叠氧化物和氮化物介电层，目前层数多达96层。密集排列且具有高深宽比的孔渗透至这些层中，按照高深宽比通道将排列分为字线。为了创建存储单元，必须移除氮化物层并以钨进行替换。这种钨一定要通过深（垂直深度50:1）通道引入，然后横向扩散，从而以无孔洞的超共形沉积方式填充（之前的）氮化物水平面（横向比约10:1）。原子层沉积能够一次沉积一个薄层，这就确保了均匀填充，并防止因堵塞而产生的空隙。
晶体管是构成逻辑电路、微处理器及记忆元件的基本单元，漏电一直是影响其良率、性能和功耗的重要影响因素。在晶体管缩小的基础上，为了逐步提升器件性能，晶体管结构也在发生明显的变化。与平面晶体管（如MOSFET）相比，FinFET是一种具有高架沟道的三维晶体管，栅极环绕该沟道，制备难度更大。在标准平面替换闸极技术中，金属栅极堆叠由ALD、PVD以及CVD多种技术沉积金属层结合组成，但器件过渡到FinFET、GAA等三维结构，PVD和CVD则难以达到沉积效果，需要全方位的ALD解决方案。ALD所沉积的Spacer材料的宽度即决定了Fin的宽度，是制约逻辑芯片制程先进程度的核心因素之一。
综上所述，在半导体制程进入28nm后，由于器件结构不断缩小且更为3D立体化，生产的全部过程中要实现厚度更薄的膜层，以及在更为立体的器件表面均匀镀膜。在此背景下，ALD技术凭借优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和精确的膜厚控制等特点，技术优势愈加明显，在半导体薄膜沉积环节的市场占有率也将持续提高。SEMI预计2020年-2025年全球ALD设备市场规模年复合增长率将达到26.3%，在各类关键晶圆生产设备中增速最快。
目前，半导体行业的薄膜沉积设备中，ALD设备作为先进制程所必须的工艺设备，在大规模量产方面国内厂商尚未形成突破。当技术节点向14纳米甚至更小的方向升级时，与PVD设备和CVD设备相比，ALD设备的必要性更加凸显。目前，基于供应链安全考虑，国内设备制造商正面临更多的机会。面对半导体设备向高精度化与高集成化方向发展的趋势，以及国产化进程加快的背景下，国产半导体ALD设备迎来前所未有的发展契机。
虽然随着ALD技术的发展，其应用场景范围逐步拓展，但由于芯片的制作的完整过程中，涉及数十乃至百余种不一样的要求的薄膜材料，各类电性能、机械性能不同的薄膜构成了芯片3D结构体中不同的功能，不一样的种类的薄膜沉积设备适用于不同工艺节点对膜质量、厚度以及孔隙沟槽填充能力等不一样的要求，CVD等传统薄膜沉积设备仍大范围的应用于半导体薄膜沉积的各环节，并占据一定的市场空间。根据SEMI和北京欧立信数据显示，在2021年全球各类薄膜沉积设备市场占有率中，PECVD、LPCVD等CVD技术仍是薄膜设备中占比最高的设备类型，PECVD占整体薄膜沉积设备市场的33%，LPCVD设备占比各约为11%。
其中，PECVD设备是芯片制造的核心设备之一。由于等离子体的作用，可以在相比来说较低的反应温度下形成高致密度、高性能薄膜，不破坏已有薄膜和已形成的底层电路，实现更快的薄膜沉积速度，是芯片制造薄膜沉积工艺中运用最广泛的设备之一。
再如，LPCVD技术中，反应压强下降到100Torr及以下，分子的自由程与气体扩散系数增大，气态反应物和副产物的质量传输速率加快，形成薄膜的反应速率增加，具备较佳的阶梯覆盖率及很好的组成成份和结构控制。LPCVD设备具备了沉积速率快，产能高等特点，且不需要载子气体，大幅度的降低了颗粒污染源，被广泛地应用在芯片制作的完整过程中。
PECVD、LPCVD等CVD设备适用于不同工艺节点对膜质量、厚度以及孔隙沟槽填充能力等的不一样的要求，相关设备覆盖的工艺范围广，应用场景也较多。因国内半导体行业发展较为迅速，且目前CVD的国产化率水平还处于较低水平，国内CVD设备市场具有十分广阔的市场空间。
公司半导体ALD设备的应用场景均代表国内半导体各细致划分领域的先进工艺发展趋势，在逻辑芯片、存储芯片、新型显示芯片、化合物半导体领域均有设备订单，并已在客户段验收或客户验证，详细情况如下：
①在逻辑芯片领域，已开发的28nm逻辑芯片中高K栅介质层是国内集成电路突破28nm先进制程节点要求最高的工艺之一。公司ALD设备凭借原子级别的精确控制及沉积高覆盖率和薄膜的均匀性，制备的高K材料HfO2较好的满足了28nm逻辑器件制作的完整过程的需要，相关设备已取得客户验收，实现产业化应用，并已获得重复订单。同时，公司还在逻辑芯片领域陆续开发新的设备工艺和材料应用。
②在存储芯片领域，ALD设备在高K栅电容介质层、介质覆盖层、电极、阻挡层等工艺中的优势使其被大范围的应用于DRAM、3D-NAND、新型存储器等半导体制造领域，未来其在薄膜沉积环节的市场占有率将持续提高。公司应用于该领域的设备已进入产业化验证阶段，其中单片型ALD设备已获得多种工艺设备的重复订单；批量型ALD设备也已获得客户订单，且为行业首台批量型ALD设备在存储芯片制造领域的应用。
③在新型显示芯片领域，硅基微型显示芯片的阻水阻氧保护层应用于硅基OLED微型显示芯片，该类显示芯片采用集成电路CMOS工艺，作为半导体和OLED结合的一种新型显示技术，具有较大发展前途。公司应用于该领域的批量型ALD设备产品已获得多个客户订单，处于产业化验证阶段。
④在化合物半导体领域，第三代化合物半导体的钝化层和过渡层应用第三代化合物半导体功率器件，具有广阔的未来市场发展的潜力。例如，氮化镓器件相对于硅基器件有高频高压的特点，其栅极结构逐渐被V型或深沟槽型结构取代，氮化镓器件的漏电问题也一天比一天突出。ALD技术适合于生长超薄Al2O3、AlN等薄膜作为钝化层和过渡层，能够更好的起到更好的器件漏电抑制效果，保证器件拥有非常良好的漏电和击穿性能。
随着逻辑芯片、DRAM、3D NAND及新型存储器芯片、化合物半导体、新型显示芯片等先进半导体技术的加快速度进行发展，下游生产环节对于沉积薄膜的厚度、精度、成分和结构的要求逐步的提升，对ALD设备采购需求将会持续增加。公司的ALD设备凭借其薄膜厚度精确度高、均匀性好、台阶覆盖率极高等优点，已经与下游半导体制造厂商就各类先进应用开展合作，能够很好的满足客户制备高质量薄膜的需求。在国产化进程加快的背景下，随着下游客户逐步达产与半导体各细致划分领域先进工艺应用投资规模的扩大，公司产品将具有更广阔的市场前景。
PECVD、LPCVD等CVD产品具有较为广阔的市场空间，且目前国产化率水平还处于较低水平。公司基于客户关键工艺开发的战略需求，以CVD的硬掩模工艺为介入点，依托产业化应用中心强大的前瞻工艺开发能力及国际化的开发团队，和公司所具有的半导体设备设计制造能力，解决关键工艺卡脖子问题，进行差异化策略，开发CVD领域具有未来市场发展的潜力和竞争力的关键设备。相关这类的产品可应用于芯片制造硬掩膜与高级图案化、钝化层、扩散阻挡层、介电层、电容覆盖层等领域。截止目前，该系列部分产品已发往客户处进行试样验证。
光伏薄膜沉积设备技术的演进路径与光伏电池类型变化相关。根据所需沉积薄膜类型的不同，光伏领域各技术路线有其各自适合的应用场景，并随着光伏电池技术发展而动态变化。太阳能电池片技术路线最重要的包含铝背场电池（Al-BSF）、PERC、TOPCon、异质结（HJT）、XBC电池、钙钛矿等。目前，PERC技术已非常成熟，TOPCon正逐步成为主流，同时行业内也在积极探索或布局 HJT、XBC、钙钛矿等新兴太阳能电池技术，目前尚处于实验或验证阶段。
光伏领域中薄膜沉积技术以PECVD和ALD为主，综合使用多项技术路线是行业趋势。PECVD技术因其兼容性高，各类型应用前景广泛。ALD技术作为成膜质量最好的技术，随着光伏效率提升对薄膜工艺技术要求提高，也有更多的应用场景。行业内薄膜设备厂商目前主要以PECVD或ALD技术路线为主，根据各自的技术积累和未来技术方向的专业判断，同时进行多种技术路线的选择和尝试。
公司ALD技术在TOPCon电池中已经取得良好应用，因ALD技术优异的保型性且薄膜材料密度一致，在TOPCon电池具有金字塔绒面的正面Al2O3钝化层制备中，公司的ALD设备正成为主流技术路线。同时，公司还基于PEALD、PECVD等多种真空薄膜技术，开发多款不同技术路线的产品，更好的为下游电池厂商提供薄膜沉积的整体解决方案。由公司开发的行业内首条GW级TOPCon工艺整线已经获得客户的验收，带动和引领了行业内TOPCon电池的量产导入。同时，公司还积极地探索开发在XBC、异质结/钙钛矿叠层电池等新一代高效电池方面的技术。
4.1 普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前10名股东情况
1 公司应该依据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。
公司2022年营业收入68,451.19万元，同比增长59.96%；2022年归属于上市公司股东的净利润5,415.05万元，同比增长17.43%；2022年扣除非经常性损益后的归属于上市公司股东的净利润1,980.63万元，同比减少-25.79%；2022年末公司总资产381,974.17万元，同比增长181.50%；2022年末归属于上市公司股东的净资产196,278.92万元，增长122.16%。
2 公司年度报告披露后存在退市风险警示或终止上市情形的，应当披露导致退市风险警示或终止上市情形的原因。
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“公司”）第二届董事会第五次会议于2023年4月24日在公司会议室以现场结合通讯表决方式召开，会议由董事长王磊先生主持。本次会议通知于2023年4月14日以电子邮件方式向全体董事发出。本次会议应出席董事6名，实际出席董事6名。本次会议的召集和召开符合《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）及《江苏微导纳米科技股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关法律法规，会议决议合法、有效。
2022年，公司管理层在董事会带领下，经营管理上严格遵守有关规定法律法规和制度的规定，切实履行董事会赋予的职责，严格执行股东大会和董事会的各项决议，勤勉尽责地开展总经理会议的各项工作，不断规范公司法人治理结构，确保公司科学决策和规范运作。董事会同意公司《2022年度总经理工作报告》。
2022年，公司董事会严格按照《公司法》等法律、法规和《公司章程》《公司董事会议事规则》的要求，认真贯彻执行了股东大会各项决议，勤勉尽责地开展各项工作，促进公司持续、健康、稳定的发展。董事会同意公司《2022年度董事会工作报告》。
2022年度，公司独立董事根据《公司法》等法律和法规及《公司独立董事工作制度》依法履行职责，发挥了独立董事对公司治理的监督作用。董事会同意《独立董事2022年度述职报告》。公司独立董事将在2022年年度股东大会上述职。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司独立董事2022年度述职报告》。
（四）审议通过了《关于公司董事会审计委员会2022年度履职情况报告的议案》
公司董事会审计委员会根据《公司法》《证券法》《上市公司治理准则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》以及《公司章程》《公司董事会审计委员会议事规则》的规定，在2022年度内恪尽职守、认真履职。董事会同意董事会审计委员会《2022年度履职情况报告》。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司董事会审计委员会2022年度履职情况报告》。
根据《公司法》《证券法》和《公司章程》等相关规定，公司编制了2022年年度报告及其摘要。
公司全体董事、监事和高级管理人员对2022年年度报告及其摘要做出了保证内容真实、准确、完整，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏的书面确认意见，赞同公司2022年年度报告按规定在指定信息披露媒体披露。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年年度报告》及《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年年度报告摘要》。
根据《公司法》《证券法》和《公司章程》等相关规定，公司编制了2023年第一季度报告。
公司全体董事、监事和高级管理人员对2023年第一季度报告做出了保证内容真实、准确、完整，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏的书面确认意见，赞同公司2023年第一季度报告按规定在指定信息披露媒体披露。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司2023年第一季度报告》。
公司2022年度财务决算报告的编制符合相关法律、法规、部门规章、规范性文件及公司管理制度的有关规定，公允反映了公司2022年12月31日的财务状况以及2022年度的经营成果和现金流量。
经天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“天职国际”）审计确认，截止至2022年12月31日，公司期末可供分配利润为人民币157,359,460.99元，公司2022年度实现归属于上市公司股东的净利润为人民币54,150,541.03元。
考虑到公司未来产品研发、市场拓展及订单实施等运营资金需求量较大，为保障公司长期稳定发展，更好地维护全体股东的长远利益，公司2022年度拟不进行利润分配，也不进行资本公积金转增股本，剩余未分配利润滚存至下一年度。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年年度利润分配方案的公告》（公告编号：2023-033）。
独立董事发表了同意该项议案的独立意见，具体内容详见上海证券交易所网站（）。
天职国际为公司2022年度审计机构，在执业过程中切实履行了审计应尽的职责，从专业角度维护了公司及股东的合法权益，公司拟续聘天职国际为公司2023年度财务审计机构及内控审计机构。董事会提请股东大会授权管理层根据2023年公司审计工作量和市场价格情况等与天职国际协商确定具体报酬。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司关于续聘公司2023年度审计机构的公告》（公告编号：2023-034）。
企业独立董事已就该事项发表了明确的事先认可意见以及同意的独立意见，具体内容详见上海证券交易所网站（）。
根据《上市公司治理准则》《公司章程》等相关制度的规定，公司结合经营规模、业绩等公司实际情况，参考行业薪酬水平，经公司董事会薪酬与考核委员会提议，公司制定了2023年度董事薪酬方案。公司独立董事2023年度津贴标准为人民币5万元/年（含税），按年度发放；在公司担任职务的公司非独立董事按其在公司担任的实际工作岗位领取薪酬，不领取董事津贴；不在公司担任职务的非独立董事，不领取董事津贴。
独立董事发表了同意该项议案的独立意见，具体内容详见上海证券交易所网站（）。
根据《上市公司治理准则》《公司章程》等相关制度的规定，公司结合经营规模、业绩等公司实际情况，参考行业薪酬水平，经公司董事会薪酬与考核委员会提议，公司制定了2023年度高级管理人员薪酬方案。公司高级管理人员根据其在公司担任的具体职务，按公司相关薪酬与绩效考核管理制度领取薪酬，不再另行领取津贴。
表决结果：同意4票；反对0票；弃权0票。其中关联董事LI WEI MIN、LI XIANG回避表决。
独立董事发表了同意该项议案的独立意见，具体内容详见上海证券交易所网站（）。
（十二）审议通过了《关于公司2022年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》
根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第2号一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》和上海证券交易所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一规范运作》和公司《募集资金管理制度》等法律和法规和制度文件的规定，公司全面核查了2022年度募投项目的进展情况，对募集资金的存放与使用情况出具《公司2022年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年度募集资金存放与使用情况的专项报告》（公告编号：2023-035）。
保荐机构浙商证券股份有限公司出具了《关于江苏微导纳米科技股份有限公司2022年度募集资金存放与使用情况的核查意见》。天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《关于江苏微导纳米科技股份有限公司2022年度募集资金存放与实际使用情况专项报告及鉴证报告》。独立董事发表了同意该项议案的独立意见，具体内容详见上海证券交易所网站（）。
根据《企业内部控制基本规范》及其配套指引的规定和其他内部控制监管要求，结合公司内部控制制度和评价办法，在内部控制日常监督和专项监督的基础上，对公司2022年12月31日（内部控制评价报告基准日）的内部控制有效性进行了评价，出具了《公司2022年度内部控制评价报告》。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年度内部控制评价报告》。
独立董事发表了同意该项议案的独立意见，具体内容详见上海证券交易所网站（）。
公司董事会同意于2023年5月19日14时00分在江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2号公司会议室采用现场和网络投票相结合的方式召开公司2022年年度股东大会。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）《江苏微导纳米科技股份有限公司关于召开2022年年度股东大会的通知》（公告编号：2023-036）。
本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“公司”）第二届监事会第五次会议于2023年4月24日在公司会议室以现场结合通讯表决方式召开，会议由监事会主席潘景伟先生主持。本次会议通知于2023年4月14日以电子邮件方式向全体监事发出。本次会议应出席监事3名，实际出席监事3名。本次会议的召开符合《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）及《江苏微导纳米科技股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定，会议决议合法、有效。
监事会认为：2022年，监事会严格按照《公司法》等法律、法规和《公司章程》《公司监事会议事规则》的要求，从切实维护公司利益和广大股东权益出发，认真履行了监督职责。
根据《公司法》《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）和《公司章程》等相关规定，公司编制了2022年年度报告及其摘要。
监事会认为：公司2022年年度报告及其摘要的编制和审议程序符合法律法规及《公司章程》等相关规定，报告公允地反映了公司2022年度经营管理和财务状况等各方面的实际情况；在年度报告及摘要的编制过程中，未发现公司参与年度报告及其摘要编制和审议的人员有违反保密规定的行为；监事会全体成员保证公司2022年年度报告及其摘要披露的信息真实、准确、完整，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年年度报告》及《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年年度报告摘要》。
根据《公司法》《证券法》和《公司章程》等相关规定，公司编制了2023年第一季度报告。
监事会认为：公司2023年第一季度报告的编制和审议程序符合法律法规及《公司章程》等相关规定，报告公允地反映了公司2023年第一季度经营管理和财务状况等各方面的实际情况；在2023年第一季度报告的编制过程中，未发现公司参与2023年第一季度报告编制和审议的人员有违反保密规定的行为；监事会全体成员保证公司2023年第一季度报告披露的信息真实、准确、完整，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司2023年第一季度报告》。
根据《公司法》《证券法》和《公司章程》等相关规定，公司编制了2022年度财务决算报告。
监事会认为：公司2022年度财务决算报告的编制符合相关法律、法规、部门规章、规范性文件及公司管理制度的有关规定，公允反映了公司2022年12月31日的财务状况以及2022年度的经营成果和现金流量。
经天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“天职国际”）审计确认，截止至2022年12月31日，公司期末可供分配利润为人民币157,359,460.99元，公司2022年度实现归属于上市公司股东的净利润为人民币54,150,541.03元。
考虑到公司未来产品研发、市场拓展及订单实施等运营资金需求量较大，为保障公司长期稳定发展，更好地维护全体股东的长远利益，公司2022年度拟不进行利润分配，也不进行资本公积金转增股本，剩余未分配利润滚存至下一年度。
监事会认为：公司2022年度利润分配方案充分考虑了公司战略发展及资金需求等因素，兼顾了全体股东的长远利益，符合相关法律、法规、其他规范性文件及《公司章程》的规定，不会影响公司正常经营和长期发展，不存在损害公司及股东整体利益的情形，同意本次利润分配方案并同意将该方案提交公司股东大会审议。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年年度利润分配方案的公告》（公告编号：2023-033）。
天职国际为公司2022年度审计机构，在执业过程中切实履行了审计应尽的职责，从专业角度维护了公司及股东的合法权益，公司拟续聘天职国际为公司2023年度财务审计机构及内控审计机构。董事会提请股东大会授权管理层根据2023年公司审计工作量和市场价格情况等与天职国际协商确定具体报酬。
监事会认为：在开展2022年度财务审计服务过程中，天职国际能够恪尽职守，遵循执业准则，能够按照年度审计工作的计划完成审计工作，为公司出具的往期审计报告客观、公正的反映了公司的财务状况、经营成果和现金流量，具备上市公司审计工作的丰富经验和职业素养。为了保证公司审计业务的连续性，拟续聘天职国际为公司2023年度审计机构。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司关于续聘公司2023年度审计机构的公告》（公告编号：2023-034）。
根据《上市公司治理准则》《公司章程》等相关制度的规定，结合经营规模、业绩等公司实际情况，参考行业薪酬水平，公司制定了2023年度监事薪酬方案。公司监事根据其在公司担任的具体职务，按公司相关薪酬与绩效考核管理制度领取薪酬，不再另外领取津贴；不在公司担任职务的监事，不领取监事津贴。
监事会认为：公司2023年度监事薪酬方案是结合公司未来发展需要与实际经营情况而做出的，2023年度监事薪酬方案合理，不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。
（八）审议通过了《关于公司2022年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》
根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第2号一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》和上海证券交易所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一规范运作》和公司《募集资金管理制度》等法律法规和制度文件的规定，公司全面核查了2022年度募投项目的进展情况，对募集资金的存放与使用情况出具《公司2022年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》。
监事会认为：公司2022年度募集资金存放与使用情况符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》和公司《募集资金管理制度》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专户使用，并及时履行了相关信息披露义务，募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和损害公司及股东利益的情况，不存在违规存放及使用募集资金的情形。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）披露的《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年度募集资金存放与使用情况的专项报告》（公告编号：2023-035）。
根据《企业内部控制基本规范》及其配套指引的规定和其他内部控制监管要求，结合公司内部控制制度和评价办法，在内部控制日常监督和专项监督的基础上，对公司2022年12月31日（内部控制评价报告基准日）的内部控制有效性进行了评价，出具了《公司2022年度内部控制评价报告》。
监事会认为：公司2022年度内部控制评价报告真实、客观地反映了公司内部控制制度的建设及运行情况，公司已建立较为完善的内部控制制度体系并能得到有效执行。
具体内容详见公司在上海证券交易所网站（）《江苏微导纳米科技股份有限公司2022年度内部控制评价报告》。
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
● 2022年度不进行利润分配，不派发现金红利，不送红股，不以资本公积转增股本。
● 2022年度不分配利润，是综合考虑到行业发展情况、公司发展阶段、研发项目及经营规模扩大，资金需求较大等各方面因素。
● 2022年年度分配方案已经公司第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议审议通过，尚需提交公司2022年年度股东大会审议。
经天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“天职国际”）审计确认，截止至2022年12月31日，公司期末可供分配利润为人民币157,359,460.99元，公司2022年度实现归属于上市公司股东的净利润为人民币54,150,541.03元。
考虑到公司未来产品研发、市场拓展及订单实施等运营资金需求量较大，为保障公司长期稳定发展，更好地维护全体股东的长远利益，公司2022年度拟不进行利润分配，也不进行资本公积金转增股本，剩余未分配利润滚存至下一年度。
2022年度拟不分配利润，是综合考虑到行业发展情况、公司发展阶段、研发项目及经营规模扩大，资金需求较大等各方面因素。
根据《国民经济行业分类与代码》（GBT/4754-2017），公司所处行业属于“C3562半导体器件专用设备制造（指生产集成电路、二极管（含发光二极管）、三极管、太阳能电池片的设备的制造）”，属于高端装备在半导体、光伏等新一代信息技术领域、新能源的应用。
半导体行业是电子信息产业的基础支撑，广泛应用于5G通信、计算机、云计算、大数据、物联网等下游终端应用市场，是现代经济社会中的战略性、基础性和先导性产业。薄膜沉积设备是半导体前道工艺设备的核心设备之一，受下游晶圆产线扩产、先进制程和新兴工艺的驱动，行业拥有较大的市场空间和良好的成长性。半导体薄膜沉积行业具有较高的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒，国际市场目前主要被海外大厂垄断，国产替代趋势明显。伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施，本土半导体及其设备制造业迎来了前所未有的发展契机，而薄膜沉积设备作为半导体制造的核心设备，将会迎来巨大的进口替代市场空间。
同时，薄膜沉积设备是太阳能电池片制造环节的关键设备之一，受益于光伏行业装机规模持续扩大，市场前景广阔。在光伏行业“降本增效”的发展趋势推动下，光伏电池片技术迭代迅速，相应量产和扩产需求催生更多的生产设备需求，具备相应技术储备和研发实力的公司面临快速发展的市场机遇。
公司致力于成为世界级微纳制造装备领军企业，当前正处于快速发展与战略布局重要阶段。在半导体领域，目前ALD设备基本由国际厂商垄断，公司是行业内极少数的新进入者和国产厂商，并开发了半导体CVD设备。在光伏领域，公司是行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。
2022年度，公司实现营业收入68,451.19万元，同比增长59.96%；实现归属于上市公司股东的净利润为5,415.05万元，同比增长17.43%；全年研发费用投入13,839.54万元，同比增长42.62%。目前公司正处于快速发展与战略布局重要阶段，未来需要根据下业技术迭代和创新需求，与下游客户合作开发，不断推出新产品、新量产化工艺技术，以保持竞争优势。需要进一步加强新产品、新工艺的市场推广力度，提升市场份额。此外，公司在手订单充裕，随着经营规模的持续扩大，日常运营资金需求也逐步增大。
考虑到公司未来产品研发、市场拓展及订单实施等运营资金需求量较大，为保障公司长期稳定发展，更好地维护全体股东的长远利益，公司2022年度拟不进行利润分配，也不进行资本公积金转增股本，剩余未分配利润滚存至下一年度。
公司2022年度的未分配利润将累积滚存至下一年度，以满足公司生产经营和研发投入的资金需求。公司将继续严格按照相关法律法规和《公司章程》等规定，综合考虑与利润分配相关的各种因素，从有利于公司发展和投资者回报的角度出发，履行公司的利润分配政策。
公司于2023年4月24日召开第二届董事会第五次会议，审议通过了《关于公司2022年年度利润分配方案的议案》，考虑到公司未来产品研发、市场拓展及订单实施等运营资金需求量较大，为保障公司长期稳定发展，更好地维护全体股东的长远利益，同意公司2022年度不进行利润分配，也不进行资本公积金转增股本，剩余未分配利润滚存至下一年度，同意将该方案提交公司2022年年度股东大会审议。
独立董事认为：公司2022年度利润分配方案充分考虑了公司所处行业特点、公司经营及未来发展等各种因素，符合公司当前的实际情况，符合《上市公司监管指引第3号一一上市公司现金分红（2022年修订）》、中国证券监督管理委员会《关于进一步落实上市公司现金分红有关事项的通知》（证监发[2012]37号）、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》、《公司章程》等关于利润分配的相关规定，符合公司和全体股东的利益，不存在损害中小股东利益的情况。
经审议，监事会认为：公司2022年度利润分配方案充分考虑了公司战略发展及资金需求等因素，兼顾了全体股东的长远利益，符合相关法律、法规、其他规范性文件及《公司章程》的规定，不会影响公司正常经营和长期发展，不存在损害公司及股东整体利益的情形，同意本次利润分配方案并同意将该方案提交公司股东大会审议。
（一）本次利润分配方案结合了公司发展阶段、未来的资金需求等因素，不会对公司经营现金流产生重大影响，不会影响公司正常经营和长期发展。
（二）本次利润分配方案尚需提交公司2022年年度股东大会审议通过后方可实施。
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
● 拟聘任的会计师事务所名称：天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“天职国际”）
为保持审计工作的连续性和稳定性，经董事会审计委员会提议，并经全体独立董事事前认可及出具同意的独立意见，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2023年4月24日召开第二届董事会第五次会议，审议通过了《关于续聘公司2023年度审计机构的议案》，公司拟续聘天职国际为公司2023年度财务审计机构及内控审计机构。董事会提请股东大会授权管理层根据2023年公司审计工作量和市场价格情况等与天职国际协商确定具体报酬。
天职国际首席合伙人为邱靖之，创立于1988年12月，总部北京，是一家专注于审计鉴证、资本市场服务、管理咨询、政务咨询、税务服务、法务与清算、信息技术咨询、工程咨询、企业估值的特大型综合性咨询机构。
天职国际注册地址为北京市海淀区车公庄西路19号68号楼A-1和A-5区域，组织形式为特殊普通合伙。
天职国际已取得北京市财政局颁发的执业证书，是中国首批获得证券期货相关业务资格，获准从事特大型国有企业审计业务资格，取得金融审计资格，取得会计司法鉴定业务资格，以及取得军工涉密业务咨询服务安全保密资质等国家实行资质管理的最高执业资质的会计师事务所之一，并在美国PCAOB注册。天职国际过去二十多年一直从事证券服务业务。
截止2021年12月31日，天职国际合伙人71人，注册会计师943人，签署过证券服务业务审计报告的注册会计师313人。
天职国际2021年度经审计的收入总额26.71亿元，审计业务收入21.11亿元，证券业务收入9.41亿元。2021年度上市公司审计客户222家，主要行业（证监会门类行业，下同）包括制造业、信息传输、软件和信息技术服务业、电力、热力、燃气及水生产和供应业、房地产业、交通运输、仓储和邮政业等，审计收费总额2.82亿元，本公司同行业上市公司审计客户134家。
天职国际按照相关法律法规在以前年度已累计计提足额的职业风险基金，已计提的职业风险基金和购买的职业保险累计赔偿限额不低于20,000万元。职业风险基金计提以及职业保险购买符合相关规定。近三年（2020年度、2021年度、2022年度及2023年初至本公告日止，下同），天职国际不存在因执业行为在相关民事诉讼中承担民事责任的情况。
天职国际近三年因执业行为受到刑事处罚0次、行政处罚0次、监督管理措施8次、自律监管措施0次和纪律处分0次。从业人员近三年因执业行为受到监督管理措施8次，涉及人员20名，不存在因执业行为受到刑事处罚、行政处罚和自律监管措施的情形。
本次2023年度续聘拟对应的项目合伙人、签字注册会计师、项目质量控制复核人基本信息如下：
项目合伙人及签字注册会计师1：郭海龙，2014年成为注册会计师，2004年开始从事上市公司审计，2014年开始在天职国际执业，2019年开始为本公司提供审计服务，近三年签署上市公司审计报告12家，近三年复核上市公司审计报告4家。
签字注册会计师2：李雯敏，2016年成为注册会计师，2012年开始从事上市公司审计，2016年开始在天职国际执业，2019年开始为本公司提供审计服务，近三年签署上市公司审计报告3家，近三年复核上市公司审计报告0家。
项目质量控制复核人：申军，2001年成为注册会计师，2014年开始从事上市公司审计，2003年开始在天职国际执业，2021年开始为本公司提供审计服务，近三年签署上市公司审计报告2家，近三年复核上市公司审计报告2家。
天职国际及项目合伙人、签字注册会计师、项目质量控制复核人近三年不存在因执业行为受到刑事处罚，受到证监会及其派出机构、行业主管部门等的行政处罚、监督管理措施，受到证券交易所、行业协会等自律组织的自律监管措施、纪律处分的情况。
天职国际及项目合伙人、签字注册会计师、项目质量控制复核人等不存在可能影响独立性的情形。
天职国际审计服务收费按照业务的责任轻重、繁简程度、工作要求、所需的工作条件和工时及实际参加业务的各级别工作人员投入的专业知识和工作经验等因素确定。2022年报审计费用共计75万元。
公司董事会提请股东大会授权公司管理层依照市场公允、合理的定价原则，结合委托的工作量等情况，与天职国际协商确定2023年度审计报酬事宜并签署相关协议。
公司于2023年4月14日召开第二届董事会审计委员会第三次会议，审议通过了《关于续聘公司2023年度审计机构的议案》。
公司董事会审计委员会对天职国际的独立性、专业胜任能力、投资者保护能力进行了充分的了解和审查，认为其具备从事证券相关业务执业资格和为上市公司提供审计服务的经验和能力，能够满足公司审计工作需要。在往期审计工作中，天职国际派驻的审计团队严谨敬业，审计工作经验丰富，熟悉公司的经营发展情况，其为公司出具的审计报告客观、公正地反映了公司的财务状况和经营成果。公司董事会审计委员会一致同意公司续聘天职国际为2023年度审计机构，同意将该议案提交公司董事会审议。
独立董事对天职国际的基本情况进行了认真、全面的审查，综合考虑天职国际的专业能力、投资者保护能力、诚信状况、独立性等情况，认为天职国际具备为上市公司提供审计服务的资质，项目人员具有丰富的上市公司审计工作的经验和良好的职业素养。
因此，独立董事同意继续聘任天职国际为公司2023年度审计机构，并将该议案提交给公司第二届董事会第五次会议审议。
企业独立董事认为：天职国际在从事证券业务资格等方面均符合中国证监会的有关规定，在为公司提供2022年财务报告审计服务中，独立、客观、公正、及时地完成了与公司约定的各项审计业务，续聘该所可以保证公司审计工作的稳定性和延续性。独立董事一致赞同公司续聘天职国际为公司2023年度财务审计机构及内控审计机构，并同意将该议案提交公司2022年年度股东大会审议。
公司于2023年4月24日召开第二届董事会第五次会议，审议通过了《关于续聘公司2023年度审计机构的议案》，并同意提交公司2022年年度股东大会审议。
公司于2023年4月24日召开第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于续聘公司2023年度审计机构的议案》，监事会认为在开展2022年度财务审计服务过程中，天职国际能够恪尽职守，遵循执业准则，能够按照年度审计工作的计划完成审计工作，为公司出具的往期审计报告客观、公正的反映了公司的财务状况、经营成果和现金流量，具备上市公司审计工作的丰富经验和职业素养。为了保证公司审计业务的连续性，拟续聘天职国际为公司2023年度审计机构。
公司本次续聘会计师事务所事项尚需提交公司2022年年度股东大会审议，并自股东大会审议通过之日起生效。
本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
（三） 投票方式：本次股东大会所采用的表决方式是现场投票和网络投票相结合的方式
采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东大会召开当日的交易时间段，即9:15-9:25,9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的9:15-15:00。
涉及融资融券、转融通业务、约定购回业务相关账户以及沪股通投资者的投票，应按照《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一规范运作》等有关规定执行。
本次股东大会还将听取《独立董事2022年度述职报告》，报告内容已于2023年4月25日在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》经济参考网（）及上海证券交易所网站（）披露。
本次提交股东大会审议的议案已经公司第二届董事会第五次会议及第二届监事会第五次会议审议通过。相关公告已于2023年4月25日在上海证券交易所网站（）及《中国证券报》《上海证券报》《证券时报》《证券日报》和经济参考网（）予以披露。本次股东大会资料将于本次股东大会召开前在上海证券交易所网站上披露。
应回避表决的关联股东名称：议案7：无锡万海盈投资合伙企业（有限合伙）、无锡聚海盈管理咨询合伙企业（有限合伙）、无锡德厚盈投资合伙企业（有限合伙）、LI WEI MIN、LI XIANG；议案8：潘景伟
（一） 本公司股东通过上海证券交易所股东大会网络投票系统行使表决权的，既可以登陆交易系统投票平台（通过指定交易的证券公司交易终端）进行投票，也可以登陆互联网投票平台（网址：进行投票。首次登陆互联网投票平台进行投票的，投资者需要完成股东身份认证。具体操作请见互联网投票平台网站说明。
（二） 同一表决权通过现场、本所网络投票平台或其他方式重复进行表决的，以第一次投票结果为准。
（一） 股权登记日下午收市时在中国登记结算有限公司上海分公司登记在册的公司股东有权出席股东大会（具体情况详见下表），并可以以书面形式委托代理人出席会议和参加表决。该代理人不必是公司股东。
（1）个人股东亲自出席会议的，应出示本人身份证或其他能够表明其身份的有效证件或证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人有效身份证件、股东授权委托书。
（2）法人股东应由法定代表人或者法定代表人委托的代理人出席会议。法定代表人出席会议的，应出示本人身份证、能证明其具有法定代表人资格的有效证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人身份证、法人股东单位的法定代表人依法出具的书面授权委托书。
（3）合伙企业股东应由执行事务合伙人或者执行事务合伙人委托的代理人出席会议。执行事务合伙人或其委派代表出席会议的，应出示本人身份证、能证明其具有执行事务合伙人或其委派代表资格的有效证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人身份证、合伙企业股东单位的执行事务合伙人依法出具的书面授权委托书。
（4）异地股东可以选择电子邮件方式预约登记，请于2023年5月18日17:00之前将前述证明材料扫描件发送至公司邮箱（wen.），并在电子邮件中写明股东姓名、股东账户、联系地址、联系电话，邮件主题请标明“股东大会预约登记”字样。
3、登记地点：江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2号江苏微导纳米科技股份有限公司证券部。
4、出席现场会议的股东和股东代理人请于会议召开前半小时内到达会议地点，并请携带相关证件的原件到场参会，谢绝未按会议登记方式预约登记者出席。
地址：江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2号江苏微导纳米科技股份有限公司邮政编码：214000
兹委托 先生（女士）代表本单位（或本人）出席2023年5月19日召开的贵公司2022年年度股东大会，并代为行使表决权。
委托人应在委托书中“同意”、“反对”或“弃权”意向中选择一个并打“√”，对于委托人在本授权委托书中未作具体指示的，受托人有权按自己的意愿进行表决。
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
根据中国证券监督管理委员会于2022年11月7日出具的《关于同意江苏微导纳米科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2022〕2750号），公司首次公开发行人民币普通股（A股）4,544.5536万股，发行价格为每股人民币24.21元，募集资金总额为1,100,236,426.56元，扣除发行费用（不含增值税）人民币76,765,068.38元，实际募集资金净额为人民币1,023,471,358.18元。
本次募集资金到账时间为2022年12月20日，本次募集资金到位情况已经天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并于2022年12月20日出具天职业字[2022]46404号验资报告。
本公司已按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司监管指引第2号一上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》《上海证券交易所科创板股票上市规则》和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关规定的要求制定了《募集资金管理制度》，对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的变更及使用情况的监督等进行了规定。《募集资金管理制度》经本公司2020年第一次临时股东大会审议通过，2023年第一次临时股东大会修订。根据《募集资金管理制度》要求，本公司董事会批准开设了上海浦东发展银行股份有限公司无锡分行新区支行、中国光大银行股份有限公司无锡分行及中信银行无锡滨湖支行专项账户，仅用于本公司募集资金的存储和使用，不用作其他用途。
根据上海证券交易所及有关规定的要求，本公司及保荐机构浙商证券股份有限公司已于2022年12月20日与上述银行签订了《募集资金三方监管协议》（以下简称“三方监管协议”）。三方监管协议与上海证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异。截至2022年12月31日，三方监管协议得到了切实履行。
截止2022年12月31日，募集资金存放专项账户的存款余额如下(单位：人民币元)：
本公司2022年度募集资金实际使用情况对照表详见本报告附件1募集资金使用情况对照表。
本公司2022年度募集资金投资项目未发生变更，也无对外转让或置换的情况。
本公司董事会认为本公司已按中国证监会《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》、上海证券交易所颁布的《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号一一规范运作》的相关规定及时、真实、准确、完整地披露了本公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。本公司对募集资金的投向和进展情况均如实履行了披露义务。
六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见
天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《募集资金存放与实际使用情况鉴证报告》（天职业字〔2023〕21127-2号），会计师事务所认为：公司《2022年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》按照中国证监会《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》、上海证券交易所颁布的《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号一一规范运作》及相关格式指引规定编制，在所有重大方面公允反映了公司2022年度募集资金的存放与使用情况。
七、保荐机构对公司年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见
经核查，保荐机构认为：截至2022年12月31日，公司募集资金存放和使用符合《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号一一规范运作》及公司《募集资金管理制度》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息公开披露义务，募集资金使用不存在违反相关法律法规的情形。截至2022年12月31日，保荐机构对公司募集资金使用与存放情况无异议。
（一）浙商证券股份有限公司关于江苏微导纳米科技股份有限公司2022年度募集资金存储放置与使用的专项核查意见；
（二）天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）出具的《江苏微导纳米科技股份有限公司广泛征集资金存放与实际使用情况鉴证报告》。
注1：公司首次公开发行股票“募集资金总额”是指扣除发行费用后的募集资金净额为102,347.14万元，其中超募资金总额为2,347.14万元，截至报告日超募资金未使用。
注2：本对照表数据若出现合计数值与各分项数值之和尾数不符的情况，均为四舍五入原因造成。
